MFC202系列,氣體質(zhì)量流量控制器

規(guī)格：MFC202

單位：套

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性能標(biāo)簽：

MFC202系列,氣體質(zhì)量流量控制器,最大流量20000sccm,最大壓力500PSI

產(chǎn)品詳細(xì)描述

MFC 系列熱式質(zhì)量流量控制器為多功能產(chǎn)品，該產(chǎn)品的設(shè)計(jì)易于使用，方便進(jìn)行流量檢測與控制。本類產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)最大工作壓力為500psig，標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)定時(shí)采用空氣、氦氣、氫氣、二氧化碳，其他氣體標(biāo)定可按要求進(jìn)行。
所有流量計(jì)和控制器均由316L不銹鋼棒料制造，可用流量范圍從0-10sccm到0-20lpm，其精度可高達(dá)±1%滿刻度。并且每臺(tái)儀器都可提供可追溯的NIST標(biāo)定證書。電路設(shè)計(jì)可以抗高射頻干擾，且響應(yīng)速度很快，從而確保性能可靠和精度。

特點(diǎn)

• 全量程±1%精度
• 經(jīng)過驗(yàn)證的可靠性
• 量程–20,000 sccm
• NIST 可追溯校準(zhǔn)

應(yīng)用

• 泄漏測試
• 醫(yī)療研究
• 氣象淀積
• 研發(fā)和工藝流程
• 半導(dǎo)體制程
• 污染檢測
• 氣體混合
• 色譜分析

技術(shù)指標(biāo)

MFC202
精確度和線性度	±1% 量程
重復(fù)精度	±0.05% 量程
標(biāo)準(zhǔn)額定壓力	500 psig
壓力系數(shù)	典型-0.0067%/psi (0-1000 psig N2 )
控制閥壓降*	15-65 psig
整體泄漏率	<1x10-9 sccs
溫度系數(shù) 3	零 ±0.035% 量程/°C (0-60°C)
	量程 ±0.05%讀數(shù)/°C (0-60°C)
標(biāo)準(zhǔn)溫度和壓力	0°C和760托
電源	±15 VDC @ ±60 mA/-185 mA
流量信號(hào)	(本征線性) 0-5VDC
控制信號(hào)	0-500 VDC or 4-20 mA
接觸介質(zhì)的材料	316不銹鋼, 302不銹鋼, 鎳, Viton®, 82/18 Au/Ni釬焊, 微量銀焊接, Kalrez®
連接器	15針微型 D
接頭	1/4" 和 1/8" 卡套
重量

1.8 lb (0.82 kg)

選型表

MFC-202訂貨號(hào)	流量范圍	1/4"卡套	1/8"卡套
MFC-202-2-10	0-10 SCCM		⊙
MFC-202-2-100	0-100 SCCM		⊙
MFC-202-2-500	0-500 SCCM		⊙
MFC-202-2-1000	0-1000 SCCM		⊙
MFC-202-4-3L	0-3 SLM	⊙
MFC-202-4-5L	0-5 SLM	⊙
MFC-202-4-10L	0-10 SLM	⊙
MFC-202-4-20L	0-20 SLM	⊙

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