晶圓紅外測(cè)溫儀DA10MF, DA44MF, DA47MF, DGA10N, DGAF11N
按照不同的用途，
純硅材料測(cè)溫紅外測(cè)溫儀為：
帶襯底和涂層的晶圓測(cè)溫用紅外測(cè)溫儀為：
測(cè)量激光熔池溫度的專用紅外測(cè)溫儀DGA10N、DGAF11N、DP10N、DGE10N、DGE44N
德國DIAS紅外公司很多紅外測(cè)溫儀都可以測(cè)量激光溫度，特別是10系列高精度紅外測(cè)溫儀、11系列高精度紅外測(cè)溫儀、44系列紅外測(cè)溫儀、56系列系列高精度紅外測(cè)溫儀，可以用于很小目標(biāo)的測(cè)溫，最小可測(cè)量的光斑為Φ 0.7mm。